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AZ31B镁合金表面沉积类金刚石膜的研究

王宁,郑福卫,王静,温哲华,王传兴,侯保荣

石油化工高等学校学报 2016, 29 (6): 6-10. DOI: 10.3969/j.issn.1006-396X.2016.06.002

摘要（446）

PDF （3265KB）（297）

类金刚石膜具有硬度高、摩擦系数低、耐腐性强、稳定性高等优良性质,是提高镁合金耐腐性的理想材料。但镁合金与类金刚石膜之间结合力差,本研究通过制备Si/SixNy 过渡层成功解决了镁合金与类金刚石膜之间结合力差的问题。将磁控溅射物理气相沉积与化学气相沉积技术相结合,通过改变膜沉积偏压在镁合金表面沉
积类金刚石膜。拉曼光谱测试表明,所制备的碳膜具有典型的类金刚石结构。划痕法测试表明,膜与基体之间的结合力非常大。最后通过失重实验分析了类金刚石膜对镁合金耐腐蚀性的影响。

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改变过渡层碳靶功率在铜上沉积类金刚石膜的研究

王宁, 王静, 郑福卫, 武玉民, 侯保荣

石油化工高等学校学报 2015, 28 (3): 91-96. DOI: 10.3969/j.issn.1006-396X.2015.03.019

摘要（485）

PDF （5358KB）（385）

类金刚石膜具有硬度高、摩擦系数低、耐腐性强、稳定性高等优点, 是提高铜耐腐性的理想材料, 但铜与类金刚石膜之间的结合力差。通过制备T i xC y 过渡层, 采用磁控溅射物理气相沉积与化学气相沉积法, 通过改变过渡层碳靶功率成功在铜基体上沉积类金刚石膜。并对金刚石膜进行拉曼光谱测试、划痕实验和电化学实验分析。结果表明, 所制备碳膜具有典型的类金刚石结构, 膜与基体之间的结合强度大, 过渡层碳靶溅射功率为2 0 0W 时所制备的类金刚石膜对铜基体的保护作用最好。