改变过渡层碳靶功率在铜上沉积类金刚石膜的研究
王 宁, 王 静, 郑福卫, 武玉民, 侯保荣
DiamondLike Carbon Film Deposited on Copper Substrate by Changing Intermediate C Target Power
Wang Ning, Wang Jing,Zheng Fuwei,et al
石油化工高等学校学报
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2015, (3): 91
-96
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DOI: 10.3969/j.issn.1006-396X.2015.03.019
