压缩喷雾热分解法制备SnO2 薄膜研究

石油化工高等学校学报 ›› 2008, Vol. 21 ›› Issue (4): 15-17.

压缩喷雾热分解法制备SnO2 薄膜研究

朱江, 　武光明^* , 李冲, 邢光建

(北京石油化工学院材料科学与工程系, 北京102617)

收稿日期:2007-11-09 出版日期:2008-12-20 发布日期:2017-07-05
作者简介:朱江(1956 -), 女, 新疆乌鲁木齐市, 副教授
基金资助:
北京市教育委员会科技发展计划项目(No .
KM200610017009)。

Preparation Tin Dioxide Thin Films by Spray Pyrolysis Process

ZHU Jiang, WU Guang-ming^* ，LI Chong, XING Guang-jian

Material Science and Engineering Department of Beijing Institute of Petro-Chemical Technology, Beijng 102617, P.R.China)

Received:2007-11-09 Published:2008-12-20 Online:2017-07-05

摘要/Abstract

摘要： 以SnCl2 · 2H2O 为原料, 采用压缩喷雾热分解的方法在玻璃衬底和石英片衬底上制得氧化锡薄膜。
采用X 射线衍射仪(XRD)和扫描电镜(SEM)分别对薄膜的内部结构和表面形貌进行了表征。研究表明, 500 ℃下
制备的薄膜比较致密平整;320 ℃下, 喷雾50 min 制得的薄膜的X 射线衍射峰强度较强;相同喷雾时间下, 当温度达
到380 ℃时, X 射线衍射峰的强度大幅度提高。

关键词: 氧化锡薄膜 , 喷雾热分解 , 制备

Abstract: By using SnCl2·2H2O as raw material ,the pure SnO2 thin films were prepared on the glass and quartz flat substrates by spray pyrolysis process. The crystal structure and surface morphology of the thin films were characterized by using XRD and SEM. The films which were prepared at 500 ℃ are smooth and fine. At 320 ℃, the films which were prepared for 50 min show relatively strong diffraction peak. At the same spray time, the strength of diffraction peak is enhanced when the temperature is 380 ℃.

Key words: Tin dioxide thin film , Spray pyrolysis , Preparation

朱江, 　武光明,　李冲, 　邢光建. 压缩喷雾热分解法制备SnO2 薄膜研究[J]. 石油化工高等学校学报, 2008, 21(4): 15-17.

ZHU Jiang, WU Guang-ming, LI Chong, XING Guang-jian. Preparation Tin Dioxide Thin Films by Spray Pyrolysis Process[J]. Journal of Petrochemical Universities, 2008, 21(4): 15-17.

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